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发布时间:2022-03-10 12:38:00 作者:晟东冶金
黑碳化硅是以石英砂,石油焦和硅石为主要原料,通过电阻炉高温冶炼而成。绿色碳化硅在制造上所采用的原料如黑碳化硅生产大致相同,另加工业盐作为反应剂和促进剂在电阻炉内反应而成。就其色泽而言为绿色,故命名为绿碳化硅 。
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近日科技部高新司在组织召开“十二五”期间863计划重点支持的“第三代半导体器件制备及评价技术”项目验收会。通过项目的实施,我国在第三代半导体关键的碳化硅和氮化材料、功率器件、封装以及可见光通信等领域取得突破。
中国开展SiC、GaN材料和器件方面的研究工作比较晚,与国外相比水平较低,阻碍国内第三代半导体研究进展的重要因素是原始问题。随着国家对第三代半导体材料的重视,近年来,我国半导体材料市场发展迅速。其中以碳化硅与氮化为主的材料备受关注。我们认为,该项目取得的进展,显示出我国在半导体前沿材料的研究方面取得了突破进展,有助于支撑我国在节能减排、现代信息工程、现代建设上的重大需求。2耐腐蚀性碳化硅密封环可以在酸碱环境下使用,其密封作用不会降低。
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